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臺式勻膠機/旋涂?jì)x DP-01

臺式勻膠機/旋涂?jì)x用途

勻膠機適用于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO 導電玻的 半導體工藝、制版、及表面涂覆等工藝，該產(chǎn)品具有轉速穩定和啟動(dòng)迅速，并能半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。 勻膠機具有快速啟動(dòng)、快速切換轉速和轉速穩定的性能，能夠膠膜厚度的一致性和均勻性。采用觸摸屏控制，實(shí)現啟/停可控，轉速實(shí)時(shí)觀(guān)察、三檔 轉速可來(lái)回切換等功能，啟動(dòng)后在低速下進(jìn)行勻膠，再切換至高速下進(jìn)行甩膠， 轉速及相應的時(shí)間分別可調； 儀器配置了“安全開(kāi)關(guān)"按鈕，儀器運轉時(shí)，上蓋處于關(guān)閉狀態(tài)，一旦上蓋 打開(kāi)，將觸發(fā)“安全開(kāi)關(guān)"，儀器停止運轉，起到保護作用。

技術(shù)參數 

轉速：硅片 4 英寸（含）以?xún)?300-8500RPM；4 英寸以上 300-6000RPM 

時(shí)間控制：1-32767s 

轉速穩定性：±1% 

膠的均勻性：±3% 

參數設定：觸摸屏設置參數 

適用于φ28 至φ200mm 硅片及其它材料等勻膠 

電源輸入：AC220V±10V，50HZ 

功率：60W 

重量：13kg 

外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D） 

工作環(huán)境：溫度 0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %